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NEWS INFORMATIONSMP131單晶硅壓力變送器:工業精密測量的“納米級守護者”
2025-09-10 在浙江舟山群島的深海鉆井平臺上,直徑200mm的SMP131單晶硅壓力變送器正以0.01%FS的精度實時監測井下壓力,其核心傳感器在150℃高溫、100MPa高壓環境下穩定運行超5年。這種突破性表現源于單晶硅材料壓阻效應與MEMS(微機電系統)技術的深度融合,使其成為工業自動化領域精度最高的壓力測量設備。一、納米級傳感:從晶格變形到電信號的精密轉化SMP131單晶硅壓力變送器的核心是采用光刻工藝制造的微米級硅膜片。當壓力作用于膜片時,單晶硅晶格發生各向異性變形,導致擴散在膜片...